Тэлецэнтрычны лінз F-Theta для сканавання з высокім разрозненнем для УФ-лазернай мікраапрацоўкі і паўправадніковых прымяненняў

Тэлецэнтрычная лінза для сканавання F-Theta з плаўленага крэмнію

Тэлецэнтрычная лінза F-Theta Scan — гэта спецыяльны тып лінзавай сістэмы, з дапамогай якой адхілены пазавосевы лазерны прамень можа быць перпендыкулярна факусаваны на апрацоўваную дэталь падобна да восевага факусуючага прамяня. Перавага тэлецэнтрычнай лінзы сканавання заключаецца ў тым, што яна здольная згладжваць крывізну поля да найменшых скажэнняў, забяспечваючы пры гэтым выдатную якасць плямы па ўсім полі сканавання. Для магутных і звышхуткіх лазерных крыніц мы прапануем тэлецэнтрычную лінзу F-Theta Scan серыі TSL-Q для мінімізацыі цеплавога лінзавання і зрушэння факусоўкі.

• Нумар дэталі: TSL-355-50-103Q
• Шырыня шрыфта (мм): 103,0
• Поле сканавання (мм): 50×50
• Уваходны дыяметр прамяня Φ (1/e²) (мм): 9,0
• Разьба: M85x1
• Шырыня па вадзе (мм): 137,4
• Дыяметр × таўшчыня акна (мм): 80 × 2