Лінзы F-Theta звычайна выкарыстоўваюцца разам з гальванометрычнымі сканіруючымі люстэркамі ў сістэмах лазернага гравіравання, рэзкі і маркіроўкі. Звычайна скажэнне F-Theta лінзы складае менш за 1%, каб яна магла ствараць дакладную пляму ў плоскім полі на плоскасці выявы.
Дапушчальнае адхіленне дыяметра: +0/-0,13 мм
Дапушчальная таўшчыня: ±0,25 мм
Дапушчальная адхіленне фокуснай адлегласці: ±2%
Змены таўшчыні краю (ETV): ≤3 кутнія мінімум.
Чыстая дыяфрагма: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Якасць паверхні: 40-20 SD
AR-пакрыццё: R <0,2% на паверхню пры 10,6 мкм